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微壓傳感器的工作原理及應(yīng)用

分類：技術(shù)中心 2458人瀏覽 2018-07-04

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微壓傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種壓力傳感器，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、液壓機(jī)械、除塵設(shè)備等眾多行業(yè)。

微壓傳感器工作原理

微壓傳感器在測量過程中，壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，同時(shí)通過電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，這樣的過程就是微壓傳感器進(jìn)行測量的過程。

對于微壓傳感器來說，靈敏度和線性度是微壓力傳感器最重要的兩個(gè)性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿足實(shí)際應(yīng)用需求的傳感器，必需探索出一種微壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實(shí)際的研究中，發(fā)現(xiàn)一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實(shí)現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的精確估計(jì)，在此基礎(chǔ)上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進(jìn)行了有效仿真。

微壓傳感器發(fā)展迅速，新研制出的一類傳感器采用壓電單晶片結(jié)構(gòu)，并內(nèi)置前置放大器，通過放大器放大微弱信號(hào)并實(shí)現(xiàn)阻抗變換，從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點(diǎn)。這類傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動(dòng)等微小信號(hào)的檢測。但與此同時(shí)，對于微壓傳感器精準(zhǔn)度的檢驗(yàn)這一技術(shù)難題，就迫切需要簡便的測量裝置測量該類型傳感器的性能。

微壓傳感器應(yīng)用

A、氣動(dòng)控制系統(tǒng)；

B、石化、環(huán)保、空氣壓縮；

C、樓宇自動(dòng)化、樓宇消費(fèi)系統(tǒng)；

D、工業(yè)過程檢測與控制；實(shí)驗(yàn)室壓力校驗(yàn)

F、電站運(yùn)行巡檢、機(jī)車制動(dòng)系統(tǒng)；

G、爐膛氣壓控制、通風(fēng)系統(tǒng)壓力控制；

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